Минпромторг России инвестирует 1,43 млрд рублей в разработку отечественной установки для обработки кремниевых пластин

Министерство промышленности и торговли Российской Федерации намерено инвестировать свыше 1,43 миллиарда рублей в создание отечественной автоматизированной установки, предназначенной для жидкостной химической обработки кремниевых пластин. Проект предполагает разработку оборудования, способного обрабатывать пластины диаметром до 200 мм.

Согласно техническим требованиям, установка должна обеспечивать автоматизированное выполнение операций по травлению, очистке и сушке кремниевых пластин с диаметрами 100, 150 и 200 мм, которые используются в производстве микроэлектронной продукции. Ожидаемая производительность установки — не менее 100 пластин за один рабочий цикл. Она также должна поддерживать работу с как минимум восемью различными химическими реагентами и деионизированной водой, включая функцию автоматического выбора необходимого реагента.

Важным условием проекта является использование комплектующих российского производства для ключевых элементов установки. Применение импортных компонентов допускается исключительно при наличии соответствующего согласования с заказчиком.

Завершение работ по разработке данной установки запланировано на 30 ноября 2029 года. Победитель конкурса на выполнение этих работ был определен 19 июня, однако информация о нем в Единой информационной системе в сфере закупок не раскрывается.